Вакуумдық жабын машинасы - субстрат бетіне металл жұқа қабықшаларды түсіретін құрылғы.Оның негізгі жұмыс принципі үш кезеңге бөлінеді: тазалау, булану және тұндыру.
1. Тазалау
Буландырғыш тұндыру алдында булану камерасын тазалау керек.Буландыру камерасының бетіне оксидтер, май, шаң және басқа заттар жабысып қалуы мүмкін болғандықтан, бұл пленка сапасына әсер етеді.Тазалау әдетте химиялық немесе физикалық әдістерді пайдаланады.
2. булану
Қажетті материал балқу температурасынан жоғары қызады, осылайша ол газ тәрізді молекулаларды құрайды.Содан кейін газ молекулалары вакуумдық камерада булану камерасына жіберіледі.Бұл процесс булану деп аталады.Температура, қысым және булану жылдамдығы пленканың құрамына, құрылымына және қасиеттеріне әсер етеді.
3. Тұндыру
Булану камерасындағы материалдың газ тәріздес молекулалары вакуумдық құбыр арқылы реакциялық камераға еніп, белсенді материалмен әрекеттеседі, содан кейін өнімді субстрат бетіне тұндырады.Бұл процесс шөгу деп аталады.Температура, қысым және тұндыру жылдамдығы пленка сапасы мен өнімділігіне де әсер етеді.
2. Қолданба
Вакуумдық қаптау машиналары материалтану, оптика, электроника және басқа салаларда кеңінен қолданылады.
1. Материалтану
Вакуумды қаптау машиналары әртүрлі металдардан, қорытпалардан, оксидтерден, силикаттардан және басқа материалдардан жұқа қабықшаларды дайындай алады және жабындарда, оптикалық пленкаларда, оптикалық сақтауда, дисплейлерде, транзисторларда және басқа салаларда кеңінен қолданылады.
2. Оптика
Вакуумды қаптау машинасы жоғары шағылысу қабілеті бар металл және легирленген пленкаларды және арнайы функциялары бар оптикалық пленкаларды дайындай алады.Бұл пленкаларды күн батареяларында, жоғары өнімді электронды микроскоптарда, аэрогельдерде, УК/ИК сенсорларында, оптикалық сүзгілерде және басқа салаларда қолдануға болады.
3. Электроника
Вакуумдық жабын машиналары наноөлшемді электронды материалдар мен микроэлектрондық құрылғыларды дайындай алады.Бұл пленкаларды нанотранзисторларда, магниттік жадыларда, сенсорларда және басқа өрістерде қолдануға болады.
Бір сөзбен айтқанда, вакуумды қаптау машинасы әртүрлі жұқа пленкалық материалдарды дайындап қана қоймай, сонымен қатар қажет болған жағдайда арнайы функциялары бар жұқа пленкаларды дайындай алады.Болашақта вакуумдық жабын технологиясы кеңінен қолданылып, насихатталатын болады.
Хабарлама уақыты: 12 наурыз 2024 ж